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團簇轉運平臺
更新時間：2023-01-29 09:50:02 字號：T|T
提供定制化的Cluster團簇中心轉運平臺，用于將產品或襯底在各工藝腔室之間進行轉運，以便客戶進行二次開發。
1、產品用途
提供定制化的Cluster團簇中心轉運平臺，用于將產品或襯底在各工藝腔室之間進行轉運，以便客戶進行二次開發。
2、技術參數
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基片規格 |
2"—12" |
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工位數 |
4工位、6工位、8工位 |
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真空機械手 |
華聚科技/進口 |
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腔體材料 |
鋁/不銹鋼 |
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控制軟件 |
MODBUS TCP/IP、I/O、RS485接口可選 |
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選配 |
其他功能可根據要求選配或定制 |
