028- 84601124 
真空機械手
更新時間：2024-08-07 10:21:32 字號：T|T
VR-D系列晶圓搬運真空機械手主要應用于半導體加工過程中，是負責真空端不同工位間基片傳送的關鍵自動化設備。
1、產品用途
VR-D系列晶圓搬運真空機械手主要應用于半導體加工過程中，是負責真空端不同工位間基片傳送的關鍵自動化設備。
2、技術參數
|
伸縮行程 |
≤600mm |
|
載重量 |
≤0.5kg |
|
耐真空度 |
10-5Pa |
|
維數 |
1維 |
|
重復運動精度 |
±0.1mm |
|
維護周期 |
1年/次 |
|
手臂耐溫（℃） |
≤80 |
|
叉片耐溫（℃） |
≤300（更高可定制） |
